半导体无机高纯气体专用Fink高精计量泵
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2020-11-19 11:53

高纯气体(Purified Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展，对气体工业的产品提出了越来越多的需求，国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多，而且气体纯度越来越高，其含量常常在99.999%以上。

Fink高精度计量泵是应用在高纯气体制备上的专用泵，与输送介质接触的所有组件，例如阀，隔膜，泵头和流体螺栓连接，均由纯净的PTFE和特殊的PTFE改性制成，并保证了高度的耐化学性。专业用于实验室，工艺优化，研发领域，以及工业应用中的微量计量。